菲希爾X熒光射線測厚儀測量原理

菲希爾X熒光射線測厚儀測量原理

激發過程

儀器內部的X射線源發射高能初級X射線，照射到被測樣品表面。

樣品中的原子（包括鍍層和基體材料）吸收這些X射線能量，導致其內層電子（如K層或L層）被激發并脫離原子。

熒光發射

當外層電子躍遷回內層空位時，會釋放出具有特定能量的次級X射線，即特征X射線熒光。

不同元素發出的熒光X射線能量是的（如金Au的Lα線約為9.7 keV，鎳Ni的Kα線約為7.5 keV）。

信號檢測與分析

儀器配備高分辨率探測器（如硅漂移探測器 SDD 或比例計數器），用于接收并分辨這些特征X射線的能量和強度。

通過分析熒光信號的強度，結合已知的物理模型和校準曲線，可計算出各元素鍍層的厚度；通過分析能量，可識別元素種類，實現成分分析。